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平面伺服马达LMSP
平面伺服马达藉由空气轴承并整合位置感测器，可于单一定子上放置多颗动子。• 双轴定位平台• 整合位置感测器可作闭回路控制• 采用空气轴承故无磨耗• 磁场不外漏，不影响周围设备• 无温升问题，系统精度相对稳定• 可倒吊安装0.001mm重现精度定子大面积1000x1000mm0.001mm高分辨率
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